反滲透+混床超純水設備,工業用反滲透+混床超純水設備系統工程

內容提示：

    采用反滲透水處理設備與混床離子交換設備進行組合的方式制取工業用超純水工藝的原理是：以反滲透出水做為二級原水，加壓進入混床離子交換柱，制取滿足工業生產所需的高純水，最終出水水質電阻率≥15MΩ.cm。此工藝最常用的工藝流程為：原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→緩沖水箱→反滲透設備→純水箱→增壓泵→混床（復床）→超純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。采用此工藝流程超純水系統可適用各種原水水源。

    反滲透+混床超純水設備系統是現代電子工業，如：半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路等行業制備純水、超純水最常用、最實用的系統工藝。
一、現代工業用純水的分類

    工業純水處理設備主要用于工業用水的凈化處理，使工業用水達到或超過國家或行業標準，保證工業用水質量。操作方式：手動控制或全自動控制。

    各種工業用水，按其使用方式可分為直接用水和間接用水兩大類。直接用水，系要求優良的水質；間接用水，對產品質量一般沒有影響，出于防腐和防垢等的要求不同，而需要采用不同的水質。
1、原料用水。原料用水是指直接作為原料或作為原料的一部分而使用的水。在飲料、食品加工工業中，水質對產品質量影響較大，最好的水質應無色、無味、無濁，鹽類含量適當，氨、氮、亞硝酸鹽、細菌等則要求優質的純水。
2、產品處理用水。指在生產過程中用作洗滌、漂染、打漿等，故也要求較好的水質。其水質要求大致與原料用水相同。電子工業等用水則要求優質的純水。
3、鍋爐用水。由于水的硬度高會使鍋爐內結垢，致使鍋爐熱效率降低；溶解氧和鹽類會引起鍋爐及管路的腐蝕；因此，鍋爐對水的硬度、含鹽量、堿度、等均有嚴格的指標要求。
4、冷卻用水。冷卻用水的作用是冷卻熱介質，所以防止其腐結垢和微生物危害是冷卻水處理的三大任務。因此，冷卻水的水質，對硬度、懸浮物、溶解氣體、油及其它有機物、藻類及微生物等都應嚴格控制。

三、電子工業用超純水特點
 
　　在現代電子工業高速發展的今天，工業生產對用水的要求也非常高。如半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路等行業就需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。
　
四、幾種常用的超純水制取工藝

     1、采用兩級反滲透制取超純水工藝；
     2、采用反滲透+離子交換法制取超純水工藝；
     3、采用反滲透+EDI法制取電子工業超純水工藝 ；

     而采用反滲透+混床離子交換系統工藝是現代電子行業工業生產用純水、超純水最常用的生產工藝。

五、電子工業用超純水系統幾種常用的工藝流程
　　電子行業制備超純水的工藝大致分成以下幾種：
　　1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→中間緩沖水箱→增壓泵→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
　　2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→中間緩沖水箱→反滲透設備→增壓泵→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
　　3、采用反滲透水處理設備+EDI電除離子設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→中間緩沖水箱→反滲透設備→RO水箱→增壓泵→EDI設備→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。

六、電子工業超純水設備特點
　　電子工業超純水設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床（或EDI電除鹽系統）系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法，使該設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。

七、電子工業用超純水的應用領域
　　1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水；　
    2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水；　 　　
    3、實驗室和中試車間用超純水；　 　　
    4、汽車、家電表面拋光處理；　 　　
    5、光電子產品；　 　　
    6、其他高科技精微產品。
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