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DBD等離子體反應區富含極高的物質，如高能電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使污染物質在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，DBD等離子體技術放電量是電暈放電的50倍，放電密度是電暈放電的130倍。所以,傳統低溫等離子體技術只能用于室內空氣異味治理,與其他低溫等離子體技術相比較，DBD等離子體技術是用于工業化工藝廢氣。

低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子*分解且處理能耗低等特點，是目前國內外大氣污染治理中*富有前景、*行之有效的技術方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業領域VOC類有機廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。

主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質齒板放電裝置，*放電形式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集態物質，其所擁有的高能電子能在毫秒級的時間內，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發生一系列分化裂解反應，產生高濃度、高強度、高能量的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分解而產生的原子氧。

低溫等離子廢氣處理設備功能特點：

1. 具有一次性凈化效率高，能同時凈化多種污染物;

2. 防火性能采用開關，電源，電路三重自動保護，持久的凈化功能，無須專人看管;

3. 設備體積小，結構緊湊，工藝成熟;

4. 設備投資少，運行成本低;

5. 安全穩定，維護方便，使用壽命長;

6. 凈化效率高，無二次污染。