所有類型的干式真空泵，我們都渴望能夠將其物理尺寸減小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當然，還有一個影響真空泵的抽氣速率的重要因素，那就是轉速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉速。而想要改變真空泵的轉速有兩種方法，一是改變電源的頻率，即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個閉環控制，但在大負載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經濟的方法，當然，它只能提供不可控的單一轉速。
可以看到，干式真空泵有著如此多的不同設計，它們各自有著自己的特性和優缺點。一直以來，使用成本是影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應該將真空泵運行的穩定性考慮進去。因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低，影響到晶圓的生產和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其他部件的損壞。
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