深度冷凍技術是當前使用最為廣泛的空氣分離技術，深冷空分的基本工藝流程是：空氣從空氣吸入塔進入工藝系統，經過加壓后，進入空氣預冷塔，用冷卻水進行冷卻，經冷卻后的空氣送入純化系統（MS系統），空氣經過純化系統吸附凈化后，除去空氣中的水分、CO2和乙炔等部分碳氫化合物。經凈化的空氣在膨脹機中進行膨脹,溫度急劇下降。在分餾塔系統中，經前面工段加壓、凈化、膨脹的空氣將實現分離，最終得到氧氣和氮氣。

 400立方深冷制氮設備 空氣分離制氧主要工藝 :1.深冷分離工藝: 。 2.變壓吸附工藝(PSA):  3.膜分離工藝: 

目前工業空氣分離方法主要有:傳統的低溫深冷技術分離工藝、新興的非低溫分離工藝—膜分離法和變壓吸附法。非低溫分離工藝操作簡單,成本低,是工業應用的主流。低溫空氣分離裝置近十幾年內在技術上取得了長足進步和發展,氧、氬提取率進一步提高,產品單位能耗進一步降低,系統可靠性也更有保證。在流程組織、機器、單元設備結構改進優化后,空分裝置的技術經濟指標也隨之得到明顯提高。空分設備的發展歷程,是工藝流程和主要設備結構不斷革新優化的過程,是單位能耗不斷降低的過程。下面將結合大型低溫空分裝置流程的發展,介紹幾種常用空分流程的特點、空分流程的發展趨勢和低溫空分裝置的一些技術現狀及其發展的前景趨勢。