美國EZ4小型勻膠機 旋涂儀 甩膠機的詳細描述：

EasyCoater 4勻膠機被設(shè)計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。

制造商：Schwan technology, USA

◆   結(jié)構(gòu)緊湊

EZ4外型尺寸為：210(W)*250(D)*200(H)，特別適合放于手套箱內(nèi)操作。最大可旋涂4寸圓晶的底物。

◆   簡單易用

文本顯示屏，界面簡單易用，清晰的功能按鍵，方便靈活操作。

◆  程控操作

可提供單步或多步編程旋涂工藝運行，最多可運行5步不同轉(zhuǎn)速及加速度的旋涂程序。

◆   性能穩(wěn)定

工業(yè)級直流馬達，單片機控制，轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，重復(fù)性好。

◆   設(shè)計新穎

全鋁合金外殼，陽極氧化鋁耐腐蝕機身。全PP注塑耐腐蝕易清潔旋轉(zhuǎn)腔，PC耐腐蝕透明蓋。

產(chǎn)品參數(shù)說明： 

? ●PP耐腐蝕、易清潔注塑內(nèi)腔，HDPE耐腐蝕真空吸盤

? ●陽極氧化鋁耐腐蝕機身，美觀耐用

? ●耐溶劑性PC透明蓋子，恒定扭矩定位功能

? ●文本顯示器，按鍵控制

? ●75W直流無刷電機，單片機控制

? ●可處理碎片（小于1cm）至4英寸圓晶底物

? ●轉(zhuǎn)速可控范圍：200-8000RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM

? ●加速度可控范圍：100-10000RPM/S

? ●可進行多步程序運行，最多編輯運行5步程序

●寬輸入電壓適用：AC100-230V輸入

產(chǎn)品外形尺寸：

 外形尺寸：210 (W) * 250 (D) * 204 (H)

產(chǎn)品附件選擇：

?　◆ 標(biāo)配四只真空載物盤（3/16”,1/2”,1”&2.25”），適于碎片至4寸圓晶的處理

?　◆ 定制載物盤可選，根據(jù)基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式載物盤設(shè)計加工

?　◆ 用于薄膜基片可提供定制微孔真空載物盤

?　◆ 無油真空泵（抽氣量15L/min以上）或真空發(fā)生器可選