精密運動控制系統(tǒng)解決方案|運動控制器|驅(qū)動器|伺服電機|執(zhí)行機構(gòu)|電動缸|6自由度平臺|拉曼光譜儀|比對儀|干涉儀|軸承|導(dǎo)軌|絲…
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更新日期2023-11-18 19:18
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品牌： |
aerotech |
所在地： |
江蘇 蘇州市 |
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長期有效 |
ABL9000氣浮平臺
1世上最高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅(qū)動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um
更多技術(shù)內(nèi)容及應(yīng)用請咨詢銷售工程師程健186（1288）5992
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